电镀层厚度测试设备

电镀层厚度测试设备

以下介绍经常使用的电镀膜厚检测设备：

产品概述

产品类型：能量色散X荧光光谱分析设备

产品名称：镀层厚度分析仪

型号：iEDX-150T

原产 商： 韩国ISP公司

产品优势及特征

（一）产品优势

1.镀层检测，检测层数范围1-5层；镀层测量精度可达0.001μm。

2.全自动操作平台，平台尺寸80X2*75X2*90(X*Y*Z)；

3.激光定位和自动多点测量功能；

4.检测的样品可以为固体、液体或粉末；

5.运行及维护成本低、无易损易耗品，对使用环境相对要求低；

6.可进行未知标样扫描、无标样定性、半定量分析；

7.操作简单、精准无损、高品质、高性能、高稳定性，快速检测（5-40秒依配置而定）；

8.顶级配置：SDD探测器、超长寿命X射线管、SPELLMAN高压电源，仪器使用寿命长。

9.超高分辨率：125±5电子伏特（电子伏特越低分辨率越高，检测越精准，这是能谱仪一个非常关键的技术指标）；

10.可针对客户个性化要求量身定做辅助分析配置硬件；

11.软件升级；

12.无损检测，一次性购买标样可使用；

13.使用安心无忧，售后服务响应时间24H以内，提供保姆式服务；

14.具有远程服务功能，在客户请求的情况下，可远程进行仪器维护；

（二）产品特征

1.高性能高精度X荧光光谱仪（XRF）

2.计算机/ MCA(多通道分析仪)

2048通道逐次近似计算法ADC（模拟数字转换器）

3.Multi Ray. 运用基本参数法（FP）软件，对样品进行精确的镀层厚度分析，可对镀液进行定量分析。

MTFFP (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度及全元素分析

励磁模式50987.1 DIN / ISO 3497-A1

吸收模式50987.1 DIN / ISO 3497-A2

线性模式进行薄膜镀层厚度测量

相对（比）模式无焦点测量 DIN 50987.3.3/ ISO 3497

多镀层厚度同时测量

单镀层应用[如：Cu/ABS等]

双镀层应用[如：Ag/Pd/Zn, Au/Ni/Cu等]

三镀层应用[如：Au/Ni-P/Cu/Brass等]

四镀层应用[如：Cr/Ni/Cu/Zn/SnPb等]

合金镀层应[如：Ni-Zn/Fe Sn-Ni/ABS Pd-Ni/Cu/ABS等]

4.Multi-Ray. 快速、简单的定性分析的软件模块。可同时分析20种元素。半定量分析频谱比较、减法运算和配给。

Multi-Ray 金属行业精确定量分析软件。可同时分析8种元素。最小二乘法计算峰值反卷积。采用卢卡斯-图思计算方法进行矩阵校正及内部元素作用分析。金属分析精度可达±0.02%，贵金属（8-24 Karat) 分析精度可达±0.05kt

Multi-Ray. 对镀液进行分析。采用不同的数学计算方法对镀液中的金属离子进行测定。含全元素、内部元素、矩阵校正模块。

5.Multi-Ray WINDOWS 7软件操作系统

6.完整的统计函数均值、标准差、低/高读数，趋势线，Cp 和 Cpk 因素等

8. 自动移动平台，用户使用预先设定好的程序进行自动样品测量,自动多点分析。每个阶段的文件有最多 25 个不同应用程序。特殊工具如"线扫描"和"格栅"。每个阶段文件包含*统计软件包。包括自动对焦功能、方便加载函数、瞄准样品和拍摄、激光定位和自动多点测量功能。

技术指标

多镀层分析，1～5层；

测试精度：0.001 μm；

元素分析范围从铝(Al)到铀(U)；

测量时间：10~30秒；

SDD探测器，能量分辨率为125±5eV；

探测器Be窗0.5mil（12.7μm）；

微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）；

6个准直器及多个滤光片自动切换；

XYZ三维移动平台，MAX荷载为5公斤；

高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置；

多变量非线性去卷积曲线拟合；

高性能FP/MLSQ分析；

仪器尺寸：618×525×490mm；

样品台尺寸：250×220mm；

样品台移动范围：前后左右各80mm、高度90mm。

1）、硬件参数：

1.X射线管：高稳定性X射线管，使用寿命（工作时间>8,000小时）

微焦点x射线管

铍窗口，光斑尺寸75um，油绝缘，气冷式，辐射安全电子管屏蔽。

50kV，1mA。高压和管流设定为应用程序提供最佳性能。

2.探测器：Si-Pin探测器

能量分辨率：149±5eV

3.滤光片/可选

初级滤光片：Al滤光片，自动切换

多准直器：0.2,0.3,0.5mm可选

测试点大小：准直器面积的1.5倍

4.平台：软件程序控制步进式电机驱动X-Y-Z轴移动大样品平台。
激光定位、简易荷载最大负载量为5公斤
软件控制程序进行持续性自动测量

5.样品定位：显示屏上显示样品锁定、简易荷载、激光定位及拍照功能

6. 分析谱线：

7．视频系统：高分辨率CCD摄像头、彩色视频系统

- 观察范围：3mm x 3mm

- 放大倍数：40X

- 射线方向：上照式

- 软件控制取得高真图像

8. 检测厚度（正常指标）：

- 原子序数 22 - 24 : 6 ～ 1000 微英寸

- 原子序数 25 - 40 : 4 ～ 1200 微英寸

- 原子序数 41 - 51 : 6 ～ 3000 微英寸

- 原子序数 52 - 82 : 2 ～ 500 微英寸

9. 计算机、打印机（赠送）

2）、光谱仪软件功能

1)软件应用

单镀层测量

线性层测量，如：薄膜测量

双镀层测量

针对合金可同时进行镀层厚度和元素分析

三镀层测量。

无电镀镍测量

电镀溶液测量

吸收模式的应用DIN50987.1/ ISO3497-A2

- 励磁模式的应用DIN50987.1/ ISO3497-A1

基本参数法目前是镀层领域最佳解决方案。

2) 软件标定方法

自动标定曲线进行多层分析

- 使用无标样基本参数计算方法

- 使用标样进行多点重复标定

- 标定曲线显示参数及自动调整功能

3)软件校正功能：

- 基点校正（基线本底校正）

- 多材料基点校正，如：不锈钢，黄铜，青铜等

- 密度校正

4)软件测量功能：

- 快速开始测量

- 快速测量过程

- 自动测量条件设定（光管电流，滤光片，ROI）

5) 自动测量功能（软件平台）

- 同模式重复功能（可实现多点自动检测）

- 确认测量位置 (具有图形显示功能)

- 测量开始点设定功能（每个文件中存储原始数据）

- 测量开始点存储功能、打印数据

- 旋转校正功能

- TSP应用

- 行扫描及格栅功能

6) 光谱测量功能

- 定性分析功能 （KLM 标记方法）

- 每个能量/通道元素ROI光标

- 光谱文件下载、删除、保存、比较功能

- 光谱比较显示功能：两级显示/叠加显示/减法

- 标度扩充、缩小功能（强度、能量）

7） 数据处理功能

- 监测统计值： 平均值、 标准偏差、 最大值。

- 最小值、测量范围，N 编号、 Cp、 Cpk，

- 独立曲线显示测量结果。

- 自动优化曲线数值、数据控件

8）其他功能

- 系统自校正取决于仪器条件和操作环境

- 独立操作控制平台

- 视频参数调整

- 仪器使用单根USB数据总线与外设连接

- Multi-Ray自动输出检测报告（HTML、Excel、PDF）

- 屏幕捕获显示监视器、样本图片、曲线等.......

- 数据库检查程序

- 镀层厚度测量程序保护。

9）仪器维修和调整功能

产品保修及售后服务

1. 协助做好安装场地、环境的准备工作、指导并参与设备的安装、测试、诊断及各项工作。

2. 对客户方操作人员进行培训。

3. 安装、调试、验收、培训及技术服务均为免费，在用户方现场对操作人员进行培训。

4. 整机保修一年（X光管保修两年），终身维修,保修期从我司验收合格后并正式投入使 用之日起计算。

5. 免费提供软件升级

6. 保修期内，提供全天 24小时（包含节假日）技术支持及现场维护服务。在接到设备故障报修后，提供远程故障解决方案（1小时内）,如有需要，24小时内派人上门维修和排除故障。

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