X射线光谱法测试电镀层仪器

X射线光谱法测试电镀层仪器

检测电镀层厚度的方法有很多。根据检测方法的原理可以分为物理法和化学法两大类。化学法有溶解法、计时流液法、电量法等；物理法有直接测量法、质量法、磁性法、β射线反射法、X射线荧光法、多相显微镜法、轮廓仪法等。

溶解法（电解式或库伦式）是将一定表面积的镀层用化学试剂溶解下来，然后将试样称重得到溶解下镀层的质量，再根据镀层金属的密度和试样的面积可以换算得到镀层的厚度。溶解法不适宜镀层与基体金属含有相同金属成分的镀层厚度检测。

计时流液法让一定流速的细流溶液与试样镀层作用使试样镀层局部液解。根据溶液颜色的变化，或电势的变化，或电流的变化来确定镀层溶解的终点。镀层的厚度是根据溶解所需要的时间来计算的。

计时点滴法是让小滴试液在镀层表面局部停留一定时间后再更换新液滴，直到将镀层溶解露出基体金属为止。然后，根据溶解镀层所用时间来计算镀层厚度。该方法精度较低，很少使用。目前仅用于厚度小于l．2μm的薄铬镀层。

电量法是将已知镀层表面积的试样用恒定电流密度的电流进行阳极电解溶解，当镀层金属溶解完毕时，试样的电势发生突变。根据试样镀层面积、电解通过的电量、电流效率、镀层金属的密度等来确定镀层的厚度。该方法对多层金属镀层可以更换电解液进行连续测定。

断面金相法是将被测试样制备成断面试样，然后在显微镜下观察测量镀层厚度。该方法测量精度高，重现性好。缺点是要专门制备试样，操作较麻烦，一般不用作车间生产过程中对镀层厚度的检测。

磁性法是以探头测量试样的磁通量和互感电流。磁性基体表面的非磁性镀层或其他覆盖层厚度不同对磁通量和互感电流的影响是呈线性变化的。通过这些物理量的变化值来确定覆盖层的厚度。该方法测量镀层厚度时对试样无损伤，可用于铁基体上非磁性覆盖层的测量，如电镀层、喷涂层、涂料层、塑料层和陶瓷层等。是电镀工业广泛使用的测厚方法之一。

β射线反向散射法是将放射性同位素的β射线射向试样，然后一些射线被反射至探测器。反射的β射线的强度与镀层种类和厚度有关，因此可以测得镀层的厚度。该方法精度高，适用于大多数金属镀层，若镀层金属与基体金属之间的原子序数相差较大时，厚度测量的灵敏度也会提高，故该方法特别适用于测量贵金属镀层。

轮廓仪法测试镀层厚度的原理是溶解镀层(验收试验)或在电镀前掩盖一部分基体(生产检验)以形成一台阶。用轮廓记录仪测量台阶的高度。该方法的国家标准是《GB／Tll378—2005金属覆盖层覆盖层厚度测量轮廓仪法》。

X射线荧光法是利用X射线来激发镀层和基体金属的特性X射线，通过测量镀层衰减后的X射线的强度来确定被测镀层的厚度。该方法精度高，可以用于大多数镀层和金属基体。但是所测厚度需要用标准样品校正。

以下介绍X射线光谱仪测试电镀仪器：

详细配置信息：

一、硬件：主机壹台，含下列主要部件：

(1) X光管(2)SDD电制冷半导体探测器

(3)信号检测电子电路(4)高精度二维移动平台

(5)高清晰摄像头(6)高低压电源

(7)开放式样品腔(8）双激光定位装置

(9)手推式屏蔽保护系统

二、软件及其他：X荧光光谱仪厚度分析软件

2.1计算机、打印机各一台

计算机（品牌，液晶显示屏）、打印机（品牌，彩色喷墨打印机）

2.2资料：仪器使用说明书（包括软件操作说明书和硬件使用说明书）、出厂检验合格证明、装箱单、保修单及其它应提供资料各一份。

2.3标准附件

准直孔：0.1*0.3mm，Ф0.15mm，Ф0.2mm，Ф0.3mm，Ф0.5mm（可选其中一种，内置于仪器中）

标准样品校验片：铜镀银一片（选配）

镀层检测：

2.1、常见金属镀层有：

2.2、单层厚度范围：

金镀层0－8um,

铬镀层0-15um,

其余一般为0-30um以内，

可最小测量达0.001um。

2.3、多层厚度范围

Au/Ni/Cu : Au分析厚度:0-8um Ni分析厚度:0-30um

Sn/Ni/Cu: Sn分析厚度:0-30um Ni分析厚度:0-30um

Cr/Ni/Fe: Cr分析厚度0-15um Ni分析厚度:0-30um

2.4、镀层层数为1-6层

技术协议

一.技术指标：

1.1分析元素范围：S-U

1.2同时可分析24个元素，五层镀层以上

1.3分析厚度检出限最高达0.005μm

1.4定位精度：0.02mm

1.5测量时间：5s以上

1.6计数率：0-8000cps

1.7 Z轴升降范围：0-140mm

1.8图像联动系统，可编程，可实现单点，多点，网格多种控制

1.9X/Y平台可移动行程（选配）。

二.工作环境要求：

2.1环境温度要求：15℃-30℃

2.2环境相对湿度：<70%

2.3工作电源：交流220±5V

2.4周围不能有强电磁干扰。

三.仪器验收

3.1按合同清点全部仪器内容；

3.2仪器的各项功能正常使用和各软件的运转正常；

3.3仪器安装后甲方签署使用条件确认书；

3.4以说明书为准；

3.5甲方验收合格之后，由甲乙双方签署验收合格确认书、保修单等。

3.6甲方需在收到仪器15日内，提供符合本合同第二条“工作环境要求"的仪器安装地点；协同乙方完成装机和培训并参与合同产品的验收。如甲方在收到仪器15日内，未向乙方提出书面质量异议或无法协同乙方完成装机培训，则视为合同标的已验收合格，甲方不得提出异议。

售后服务条款

1.发货与安装调试

1.1乙方确认收到甲方预付款后日内发货，并将发货单至甲方。

1.2乙方收到甲方的收到货物的书面通知之日起日内，乙方派技术工程师到达甲方地点，进行安装、调试、培训，使仪器能够正常使用。

1.3甲方验收合格之后，由甲乙双方签署验收合格确认书。

2 .验收方法：

按照公司的技术规格验收。

3.技术培训：

现场培训：仪器在安装调试同时，我司工程师对用户就仪器原理和基本操作进行现场培训，使用户能正常操作。

4.售后服务承诺：

1）乙方对所出售本合同所规定的仪器进行终身维修；

2）软件免费升级：如有软件升级，乙方将免费提供升级软件，如需上门升级按技术服务条款收取相关费用；

3）保修条款

3.1乙方对本合同销售仪器设备自验收合格之日起免费保修1年。

3.2免费保修期内，维修相关费用全免；

3.3保修期结束后，乙方为甲方提供维修服务的资费标准如下：

交通费、住宿费由甲方承担；

资费标准：硬件成本费用——按乙方时价计算

硬件运输费——实报实销

服务费——800元/人/天

人员交通费——实报实销

人员住宿费用——￥250元/天

（注：因各项成本逐年增加，乙方承诺收费标准在合同签订之日起二年内保持不变，后续若有合理变动不做另行通知）

4）技术服务的响应期限：提供好的技术服务，在接到用户故障信息后，4小时内响应；如有必要，12～72个小时内派人上门维修和排除故障。

5）非乙方产品自身故障所造成的现场技术服务（如增加测试功能和数据校正等），乙方将按技术服务条款收取相关费用。由甲方人为造成的损伤不在上述保修条款中，具体事例双方协商解决。

5.甲乙双方的义务

5.1乙方自行承担费用，按公司标准包装形式对买方所购产品进行包装；

5.2乙方自行承担费用，托运公司将产品托运至甲方地点；

5.3乙方自行承担费用，派工程技术人员上门装机，调试仪器到最佳工作状态；

5.4乙方自行承担费用，负责培训甲方操作人员，培训内容为仪器分析原理、结构、操作、维护保养、简单维修、软件使用、方法建立、样品测试等。乙方免费向甲方提供一次培训服务，如甲方另有额外的培训要求，乙方将按技术服务条款收取相关费用。

5.5甲方需在收到仪器15日内，提供符合本合同第二条“工作环境要求"的仪器安装地点；协同乙方完成装机和培训并参与合同产品的验收。如甲方在收到仪器15日内，未向乙方提出书面异议而无法协同乙方完成装机培训，则视为合同标的已验收合格，甲方不得提出异议。

5.6甲方按合同规定向乙方支付合同约定的款项。

X射线光谱法测试电镀层仪器